eine Feststoffkomponente abgeschieden. Angewendet wird es bei der Herstellung
von mikroelektronischen Bauelementen.
=== Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) ===<br />
[[Bild:PVD-Verfahren.jpg|thump|right|PVD-Verfahren]]
Änderungen – BS-Wiki: Wissen teilen
Änderungen
5 Byte entfernt,
20:00, 26. Mär 2009
