eine Feststoffkomponente abgeschieden. Angewendet wird es bei der Herstellung
von mikroelektronischen Bauelementen.
=== Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) === <br /> [[Bild:PVD-Verfahren.jpg|thump|right|PVD-Verfahren]]
PVD gehört ebenso zur Gruppe der vakuumbasierten Beschichtungsverfahren, bei dem im Gegensatz
zu CVD-Verfahren die Schicht direkt durch Kondensation eines Materialdampfes des
Änderungen – BS-Wiki: Wissen teilen
Änderungen
14 Byte hinzugefügt,
19:59, 26. Mär 2009