von mikroelektronischen Bauelementen.
=== Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) ===
[[Bild:PVD-Verfahren.jpg|thump|PVD-Verfahren]]
PVD gehört ebenso zur Gruppe der vakuumbasierten Beschichtungsverfahren, bei dem im Gegensatz
zu CVD-Verfahren die Schicht direkt durch Kondensation eines Materialdampfes des
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