== <u>gasförmige Form</u> ==
[[Bild:PVD-Verfahren.jpg|thump|right|PVD-Verfahren]]
=== Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ===
Das CVD-Verfahren gehört zur Gruppe der vakuumbasierten Beschichtungsverfahren. An der
=== Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) ===
[[Bild:PVD-Verfahren.jpg|thump|right|PVD-Verfahren]]
PVD gehört ebenso zur Gruppe der vakuumbasierten Beschichtungsverfahren, bei dem im Gegensatz
zu CVD-Verfahren die Schicht direkt durch Kondensation eines Materialdampfes des
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20:39, 26. Mär 2009