Durch ein sehr feinkörniges Abrasiv und ein reduzieren des Durchmessers des Wasserstrahls von 0,5 mm auf 0,3 mm erreicht man Positionsgenauigkeiten von unter 1μm. Die reproduzierbare Maschinenfähigkeit liegt bei ± 0,01 mm.Mit dem Mikro-Wasserstrahlschneidenverfahren lassen sich z.B. auch leitende oder hitzeempfindliche Werkstoffe fertigen, die beim normalen Wasserstrahverfahren nicht möglich wären. Die reproduzierbare Maschinenfähigkeit liegt bei ± 0,01 mm. Außer einer speziell etwickelten Maschine, welche zum Beispiel ein stabiles Maschinenbett und ein beidseitig gelagertes und über Kugelrollenspindeln angetriebenes Portal hat, ist für diese Genauigkeiten auch eine angepasste Umgebung erforderlich. Fertigungsräume müssen klimatisiert sein, da Temperaturschwankungen die Präzision der Maschine beeinflussen.