von mikroelektronischen Bauelementen.

=== Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) ===

PVD gehört ebenso zur Gruppe der vakuumbasierten Beschichtungsverfahren, bei dem im Gegensatz

zu CVD-Verfahren die Schicht direkt durch Kondensation eines Materialdampfes des

[[Kategorie:Fertigungstechnik]]